·保证工件公差
·优化加工节拍
·保证并维持稳定的生产效率
·补偿加工漂移
·追踪加工过程
NGG单元
NCG干涉测量仪设计灵活，使用方便。每个单元都可以接入由机床控制的传感器网络中。对于表面反射强烈，粗糙或不透明的工件，也能通过精心设计的系统来进行测量。系统对电子设备进行了改进，在运行时可以执行测量并存储连续数小时的数据，可用于精细化离线处理、质量控制和机床性能评估
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测量原理 |
干涩测量 |
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测量类型 |
厚度、距离 |
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光源 |
SLED |
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测量范围* |
S1 = 37~1850 µm S2 = 74~3700 µm T1 = 15~900 µm D2 = 60~3000 µm |
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精度 |
≤ 1 µm |
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轴向分辨率 |
30nm |
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通道 |
1 |
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接口 |
Ethernet (10/100 Mbit) RS232 / RS422 (可选) |
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网络连接 |
可连接 |
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电源 |
12~24 Vdc (+20%/-15%) |
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功率 |
30W |
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防护等级 (IEC 60529标准) |
IP40 |
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重量 |
2,8 Kg |
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尺寸 [mm] |
127 (w) x 129 (h) x 255,5 (d) |
备注：以上性能已在静态测试中得到验证。在15～35˚C范围内，测量性能最佳。
*折射率n=1时的范围。要获得其他材料的测量范围，请除以该材料折射率。当粗糙表面的R a>0.1时，测量范围会受到限制。
光学探头
无论是在清洁环境还是恶劣环境中，马波斯光学探头都能获得最佳性能。即使在有水或其他侵蚀性物质的情况下也可以使用探头。每一个部件都经过测试，在振动、高温和潮湿的情况下也能可靠运行。机械布局可根据客户要求定制，用于测量零件厚度和距离。
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测量类型* |
厚度测量 |
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工作距离（WD）** |
1.6,10,100mm |
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光斑直径 |
18~30 µm |
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横向分辨率 |
9~15 µm |
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线性度 |
< 0.1% (测量范围内) |
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重复精度 |
0.1 µm |
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与表面的角度 |
90˚± 2° |
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光缆长度 |
3 / 4 m |
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光缆弯曲半径 |
30mm |
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屏蔽光缆 |
可选 |
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防护等级 |
IP68 |
IP40 |
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重量（不含光缆）） |
915g |
80g |
备注：*也可选择距离测量型
**1.6 mm 距离用于IP68 防护等级的光学探头 (该探头可在去离子水存在时使用)
系统介绍
Marposs NCG是基于干涉技术的测厚仪，量仪发出的光波在被测物体不同表面进行反射，并发生干涉，由此可以计算出两个表面之间的厚度。该测量仪可用于控制不同类型零件的厚度，包括玻璃、塑料和硅片。使用红外光源时，也可以测量非透明材料。
我们的量仪可有效改善机床节拍，保证成品质量，并对关键步骤的全程及其前后进行过程控制。
NCG是一种高速精密测量仪，可连接到机床上，以实现精确、快速的零件厚度控制。在技术资料规定范围内，NCG可以安装在夹具上，也可以安装在机床内，无论是干燥或潮湿环境中均可使用。
典型应用
• 不同类型的硅晶片、蓝宝石晶片的厚度测量
• 减薄机和研磨机的过程控制
• 薄层和厚层检测
• 薄膜厚度控制
优势
• 保证工件公差
• 优化加工节拍
• 保证并维持稳定的生产效率
• 补偿加工漂移
• 追踪加工过程
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